制備多晶硅薄膜電池多采用化學氣相沉積法，包括低壓化學氣相沉積（LPCVD）和等離子增強化學氣相沉積（PECVD）工藝。多晶硅薄膜電池由于所使用的硅材料較單晶硅少，又無效率衰退問題。
 
并且可以在廉價襯底材料上制備，其成本遠低于單晶硅電池，且光電轉換效率可以達到17％，經濟效益較好?？梢灶A見，多晶硅薄膜電池將會取代單晶硅電池，成為太陽能電池市場中的主要品種。


非晶硅薄膜太陽能電池于20世紀70年代中期開發成功，80年代其生產曾達到高潮，約占當時全球太陽能電池總量的20％左右，但由于非晶硅太陽能電池轉化效率低于晶體硅太陽能電池，而且非晶硅太陽能電池存在光致衰減效應的缺點（光電轉換效率會隨著光照時間的延續而衰減），其發展速度逐步放緩。
 
目前，非晶硅薄膜太陽能電池產量約占全球太陽能電池總量的12％左右。非晶硅薄膜太陽能電池更少的使用硅材料，成本低，便于大規模生產，而且近期在轉換效率方面也有較大突破：較優技術下的、三疊層結構非晶硅太陽能電池轉換效率達到了13％，縮小了與多晶硅電池在轉換效率上的差距。
 
因此，在硅材料價格持續上漲的背景下，非多晶硅重新得到人們的重視。我們認為，非晶硅太陽能電池仍然有著巨大的發展潛力，未來將成為太陽能電池的重要組成部分之一。http://www.dgzhenghang.cn